ある空間の中により高いあるいは多くの機能を与えようとしたとき，必然的に構造は複雑化してくる。電子・光デバイスではシリコン等のウェハ表面への微細な3次元構造の形成が求められ，構造材料では繊維強化複合材料や機能性薄膜の表面コートなどが求められるようになってきた。このことは，材料学に基づく機能設計・構造設計に加えて複雑な立体構造の形成技術の開発を示唆しており，我々は複雑な3次元構造に対し機能性材料を充填あるいは機能性薄膜をコートするプロセスの開発を行っている。特に，物質の第4体である超臨界流体中における化学反応を用いた新規薄膜合成(SCFD)プロセスの開発に取り組んでいる。

Y. Zhao, K. Jung, Y. Shimogaki, and T. Momose: “Kinetic effects of methanol addition on supercritical fluid deposition of TiO2”, J. Supercrit. Fluids, 138 (2018) 63-72.
Y. Zhao, Y. Shimoyama, T. Momose, and Y. Shimogaki “Experimental approach to estimate diffusivity of metal organics in supercritical CO2 at high temperatures” J. Supercrit. Fluids, 120 (2017) 209-217.
T. Momose, T. Kamiya, Y. Suzuki, S. Ravasio, C. Cavallotti, M. Sugiyama, and Y. Shimogaki, “Kinetic analysis of GaN-MOVPE via thickness profiles in the gas flow direction with systematically varied growth conditions”, ECS J. Solid State Sci. Technol., 5 (2016) P164-P171.