霜垣・百瀬研のDr. Zhao YuさんがIEEE EDTMにてポスター賞を受賞しました.おめでとうございます.

霜垣・百瀬研のDr. Zhao YuさんがIEEE EDTMにてポスター賞を受賞しました.おめでとうございます.

詳細は以下の通りです.

氏名:趙ゆう(Zhao Yu)
講演タイトル:Supercritical fluid deposition of conformal oxide films:  3-dimentionally-stacked RuO2/TiO2/RuO2 structures for MIM capacitors
学会名:IEEE EDTM (Electron Devices Technology and Manufacturing Conference) 2017
http://ewh.ieee.org/conf/edtm/2017/index.html
賞名:Poster Award

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