百瀬 健 講師

所在地 113-8656東京都文京区本郷 7-3-1 工学部 4号館 231号室
TEL 03-5841-7131
FAX 03-5841-7131
momo[at]dpe.mm.t.u-tokyo.ac.jp

メールで連絡下さる際には、上記メールアドレス中の" [at] "を"@"に替えて下さい。

研究室 http://www.dpe.mm.t.u-tokyo.ac.jp/
研究分野 超臨界流体薄膜形成(SCFD),超臨界流体物性,薄膜堆積プロセス,金属薄膜,有機無機複合材料

主要研究内容

ある空間の中により高いあるいは多くの機能を与えようとしたとき,必然的に構造は複雑化してくる。電子・光デバイスではシリコン等のウェハ表面への微細な3次元構造の形成が求められ,構造材料では繊維強化複合材料や機能性薄膜の表面コートなどが求められるようになってきた。このことは,材料学に基づく機能設計・構造設計に加えて複雑な立体構造の形成技術の開発を示唆しており,我々は複雑な3次元構造に対し機能性材料を充填あるいは機能性薄膜をコートするプロセスの開発を行っている。特に,物質の第4体である超臨界流体中における化学反応を用いた新規薄膜合成(SCFD)プロセスの開発に取り組んでいる。

主要研究論文

Y. Zhao, K. Jung, Y. Shimoyama, Y. Shimogaki, and T.i Momose "Conformal bismuth titanate formation using supercritical fluid deposition" ECS J. Solid State Sci. Technol, 6 (2017) P483-P488.
Y. Zhao, Y. Shimoyama, T. Momose, and Y. Shimogaki "Experimental approach to estimate diffusivity of metal organics in supercritical CO2 at high temperatures" J. Supercrit. Fluids, 120 (2017) 209-217.
T. Momose, T. Kamiya, Y. Suzuki, S. Ravasio, C. Cavallotti, M. Sugiyama, and Y. Shimogaki, “Kinetic analysis of GaN-MOVPE via thickness profiles in the gas flow direction with systematically varied growth conditions”, ECS J. Solid State Sci. Technol., 5 (2016) P164-P171.