神原 淳 准教授

所在地 113-8656東京都文京区本郷 7-3-1 工学部 4号館 305号室
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研究分野 プラズマプロセス、機能性酸化物薄膜、エピタキシー,結晶成長

主要研究内容

次世代の材料戦略において、サブミクロン・ナノスケールで発現する特性を、大面積或いは産業応用が見通せる処理量で実現できる、新規プロセスの開発に期待が寄せられています。多様なプラズマの特徴、特にプラズマの特徴的な非平衡性を駆使し、その環境下での材料の生成過程の理解を通じて、これら半ば相反する特性を両立させるプロセスの開発を進めています。このプラズマ材料工学の理念を基軸に、現在は、低圧・熱プラズマの両者の長所を有すると考えられるメゾプラズマに着目した各種バルクウエハ製造に向けた高速エピタキシャル厚膜技術の開発と、次世代リチウムイオン電池の電極材として求められるナノ~ミクロのマルチスケール複合構造を有するナノ構造材料と高緻密固体電解質の創製を、プラズマ高温蒸気の急冷凝縮に伴うナノ粒子形成過程を多元系に応用したプロセス開発により目指しています。

主要研究論文

K. Iizuka, M. Kambara, and T. Yoshida, “Highly sensitive SnO2 porous film gas sensors fabricated by plasma spray physical vapor deposition”, Sens. Actu. B 173 (2012) 455.
L.W. Chen, Y. Shibuta, M. Kambara, and T. Yoshida, “Molecular dynamics simulation of Si nanoclusters in high rate and low temperature epitaxy”, J. Appl. Phys. 111 (2012) 123301.
T. Tashiro, M. Dougakiuchi, M. Kambara, "Instantaneous formation of SiOx nanocomposite for high capacity lithium ion batteries by enhanced disproportionation reaction during PS-PVD", Sci. Technol. Adv. Mater. 17 (2016) 744.
R. Ohta, M. Dougakiuchi, M. Kambara, "Effect of PS-PVD production throughput on Si nanoparticles for negative elecrode of lithium ion batteries", J. Phys. D: Appl. Phys. 51 (2018) 105501.